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甘肅邦諾凈化設備有限公司
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邦諾變壓吸附制氮是利用了吸附劑---碳分子篩在不同壓力下對氧、氮的吸附能力大小的不同而達到分離空氣中氧氮的目的。變壓吸附制氮是一種常溫空氣分離技術，和傳統深冷空分相比，具有工藝流程簡單，設備制造容易，適應性廣，自動化程度高，運行成本低，投資省的特點。
邦諾單晶制氮機
氮氣作為保護氣體在退火：雙工位熱氧化爐經氮氣吹掃后，用紅外加熱至300~500℃，硅片表面和氧氣發生反應，使硅片表面形成二氧化硅保護層。
工作原理
制氮機工作原理，制氮機是根據變壓吸附原理，采用高品質的碳分子篩作為吸附劑，在一定的壓力下，從空氣中制取氮氣。經過純化干燥的壓縮空氣，在吸附器中進行加壓吸附、減壓脫附。由于空氣動力學效應，氧在碳分子篩微孔中擴散速率遠大于氮，氧被碳分子篩優先吸附，氮在氣相中被富集起來，形成成品氮氣。然后經減壓至常壓，吸附劑脫附所吸附的氧氣等雜質，實現再生。一般在系統中設置兩個吸附塔，一塔吸附產氮，另一塔脫附再生，通過PLC程序控制器控制氣動閥的啟閉，使兩塔交替循環，以實現連續生產高品質氮氣之目的。
整套系統由以下部件組成：壓縮空氣凈化組件、空氣儲罐、氧氮分離裝置、氮氣緩沖罐。
制氮機技術指標：
流量：3-300Nm3/h 純度：95%-99.9995%
露點：≤-65℃ 壓力：≤0.6Mpa可調
制氮機技術特點
1、完善的流利設計，*使用效果；
2、合理的內部構件，氣流分布均勻，減輕氣流高速沖擊；
3、*的分子篩保護措施，延長碳分子篩的使用壽命；
4、操作簡便，運行穩定，自動化程度高，可實無人運行；
5、自動聯鎖氮氣排空裝置，保證產品氮氣質量；
6、可選配氮氣裝置流量，純度自動調節系統，遠程監控系統等；
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