艾里卡特差壓式質(zhì)量流量控制器采用層流差壓原理，可本地顯示溫度，絕壓，質(zhì)量流量和體積流量，美國(guó)ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質(zhì)量流量控制器耐壓1MPa，低壓差條件下亦可使用。美國(guó)ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)置130種氣體，大大節(jié)約用戶成本。反應(yīng)時(shí)間快。

詳細(xì)介紹

一、艾里卡特差壓式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

1、50毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值。快速、可重復(fù)、穩(wěn)定！

2、操作便捷

? 50-100毫秒控制響應(yīng)

? 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得速度和穩(wěn)定性

? 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性

? 同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力

? 瞬間啟動(dòng)、無(wú)需預(yù)熱：1秒內(nèi)即可開始流量控制

三、ALICAT差壓式質(zhì)量流量控制器常用選配項(xiàng)

? 后置閥門，優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制

? 批量控制模式，依靠快速的閥門響應(yīng)來(lái)分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

? CSA認(rèn)證1類2區(qū) / ATEX認(rèn)證1類2區(qū)允許設(shè)備用于危險(xiǎn)環(huán)境

? 9針或15針D-Sub等連接接口可選

? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

? 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場(chǎng)合

四、性能參數(shù)

指標(biāo)	質(zhì)量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復(fù)性	±0.2%
量程比	200:1
響應(yīng)時(shí)間	100ms
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點(diǎn)漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-*
測(cè)量流量范圍	128％（過(guò)流率）
zui大耐壓	145psi
輸出信號(hào)（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號(hào)可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號(hào)（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號(hào)可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計(jì)而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）