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OX400

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更新時間：2015-05-22 13:54:04瀏覽次數(shù)：319次

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廣州乘方自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

橫河電機(jī)推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術(shù)的*經(jīng)驗(yàn)積累和優(yōu)秀業(yè)績基礎(chǔ)上研發(fā)出來的。低濃度氧化鋯氧分析儀的氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積技術(shù)，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接

詳細(xì)介紹

OX400低濃度氧化鋯氧分析儀
產(chǎn)品信息
橫河電機(jī)推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術(shù)的*經(jīng)驗(yàn)積累和優(yōu)秀業(yè)績基礎(chǔ)上研發(fā)出來的。低濃度氧化鋯氧分析儀的氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積技術(shù)，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接。這樣不僅預(yù)防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應(yīng)和長壽命。低濃度氧化鋯氧分析儀可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。

- 用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制
-用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生

產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測量

-測量氧氣濃度，防止粉塵運(yùn)輸中粉塵爆炸

特性

使用壽命長，響應(yīng)速度快

由于使用了橫河電機(jī)的新型薄膜沉積技術(shù)，傳感器的壽命周期提高了三倍
圓柱形傳感器設(shè)計便于置換被測氣體，確保高速響應(yīng)

高性能和高可靠性

即使在低氧濃度下，仍具有*的精度和線性
在不同應(yīng)用中，可選擇泵式或抽提采樣方式

內(nèi)置功能和多種自診斷功能

自帶多選擇器，自動量程，特定量程以及泵開/關(guān)功能
提供多種自診斷功能，以檢測故障，如加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯誤

出眾的維護(hù)性

可現(xiàn)場更換傳感器
小型輕量，易于安裝

規(guī)格

測量對象

惰性氣體中的氧氣濃度
(易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)

測量系統(tǒng)

氧化鋯系統(tǒng)

采樣方法

泵式，抽提式等

樣氣條件

流速: 200 ± 25ml/min(僅用于傳感器)
溫度: 0~50℃(無結(jié)露)
濕度: 無結(jié)露
壓力: 0~300PaG
zui大容許壓力: 30kPaG

測量量程

0-10ppm O2至0-100vol% O2

輸出量程

自動:	0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-(默認(rèn))其他: 可設(shè)為0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-，1~9的整數(shù)
固定:	設(shè)為0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-*
部分:	可設(shè)置下限值或上限值

模擬輸出

2路輸出，
一次: 4～20mA DC(zui大負(fù)載電阻: 550Ω)
二次: 可選為0~1，0~5，0~10V DC(負(fù)載電阻: 10kΩ或更大)

接點(diǎn)輸出

報警輸出2點(diǎn):	錯誤接點(diǎn)，O2濃度報警接點(diǎn)
量程范圍輸出1點(diǎn):	接點(diǎn)輸出
多選擇器(選配件):	流路切換接點(diǎn)輸出和測量中流路信息接點(diǎn)輸出

接點(diǎn)輸入

1點(diǎn): 采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF

自診斷

錯誤(故障):	傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設(shè)備溫度錯誤，CPU錯誤，F(xiàn)AN停止
報警(警告):	加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯誤，電動勢異常，非對稱電壓錯誤錯誤，標(biāo)定錯誤，傳感器電阻錯誤，O2濃度上/下限，超限

串口通信

RS-232，38400 bps

標(biāo)定方法

(1)3點(diǎn): 10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點(diǎn): 可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣標(biāo)定，(3)1點(diǎn)，(4)空氣標(biāo)定

暖機(jī)時間

20分以內(nèi)

電源

100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz

功耗

100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大

尺寸

213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm

質(zhì)量

約5kg

管線連接

氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋

環(huán)境條件

安裝條件:	室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域
環(huán)境溫度:	0～40℃，無結(jié)露
環(huán)境濕度:	5～85%RH
儲存溫度:	-5～50℃

符合的安全標(biāo)準(zhǔn)
和EMC標(biāo)準(zhǔn)

安全標(biāo)準(zhǔn):	61010-1:2001
EMC:	EN 61326-1 Class A，Table 2(用于工業(yè)現(xiàn)場) EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3

特性

重復(fù)性	±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或*)
線性	±2%F.S. ±3%F.S.(0~100ppm或更低)
響應(yīng)時間	90%響應(yīng) 10秒內(nèi)(0~1%或更高) 30秒內(nèi)(小于0~1%)
漂移	±2%F.S./周