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氣體質量流量控制器報價氣體質量流量控制器報價型號:KM12-CS50庫號：M390287   產品特點 安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數字信號轉換器( AD/DA轉換器)配合計算機使用。 流量規格(N2標定)0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM注:滿量程流量不限于此處列出的流量規格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內任選,例如123SCCM。 輸入輸出信號0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)流量規格1:（N2)產品特點 本產品具有穩定、響應時間短、標定精度和重復精度高等優點,安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數字信號轉換器( AD/DA轉換器)配合計算機使用。 流量規格(N2標定)0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM注:滿量程流量不限于此處列出的流量規格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內任選,例如123SCCM。 輸入輸出信號0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)流量規格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM調節閥類型：常閉型 量程比：2-99.99%FS或者50:1流量分辨率：0.1%FS準確度：1%FS 小于15SLM 2%FS 大于15SLM線性：0.5%FS 小于15SLM 2%FS 大于15SLM重復精度：0.2%FS相應時間：小于2S工作壓差范圍：0.1-0.5MPA 小于10SLM 0.1-0.3MPA 大于10SLM大耐壓：3MPA工作環境：5-45度 電纜接頭：DB15pin(針形） 輸入輸出信號：0-5V（輸入抗阻大于100K歐 輸出電流不大于3MA） 供電電源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA