低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應然后轉化成CO2和H2O,以達到降解污染物的目的。
低溫等離子體技術具有以下優點：
- 放電產生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
- 反應快，不受氣速限制。
- 采用防腐蝕材料，
- 只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。
- 設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，不受氣溫的影響。
- 氣阻小，適用于大風量的廢氣處理。
低溫等離子體凈化工業廢氣的工作原理:
等離子體中能量的傳遞大致如下：
低溫等離子放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新生態氫、活性氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含*化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，然后轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到污染物分子中去，那些獲得能量的污染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然后這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。
