集成電路污染物成分復(fù)雜，廢氣種類(lèi)多，而且這些廢氣中大部分是含有有毒有害物質(zhì)，它不僅影響生產(chǎn)人員健康，而且周?chē)沫h(huán)境造成一定的影響，因此，必須加強(qiáng)治理和控制，那么集成電路廢氣處理系統(tǒng)應(yīng)如何設(shè)計(jì)呢?
      集成電路生產(chǎn)線一般是24小時(shí)運(yùn)行的流水線,廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)安全可靠。廢氣處理系統(tǒng)的入口靜壓不能波動(dòng)太大,否則輕則導(dǎo)致工藝設(shè)備的報(bào)警,重則導(dǎo)致芯片的報(bào)廢,只能在年度定期檢修時(shí)可以考慮維持一定的靜壓。設(shè)計(jì)時(shí)必須考慮排風(fēng)機(jī)的余量,排風(fēng)機(jī)為變頻風(fēng)機(jī),設(shè)計(jì)為N+1方式。另外廢氣系統(tǒng)的制作材料也很關(guān)鍵,必須安全可靠。早期的酸堿性廢氣的管配件為聚氯乙烯(PVC),但酸堿性廢氣的成分比較復(fù)雜,集成電路一些事故表明,PVC不能滿足防爆要求。現(xiàn)在的集成電路企業(yè)所采用的酸堿性廢氣的管配件為內(nèi)襯聚四氟乙烯的不銹鋼板;熱無(wú)處理廢氣一般采用鍍鋅鋼板的材料;有機(jī)廢氣和粉塵廢氣一般采用不銹鋼的材料。
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