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四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀RGA

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱利方達（香港）有限公司北京辦事處
品牌
型號XT100（M）
所在地北京市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2022/7/14 17:15:03
訪問次數(shù)986

產(chǎn)品標簽:

四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀

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利方達(香港)有限公司于2002年創(chuàng)建。公司目前集中了一批多年從事真空鍍膜專業(yè)的技術(shù)人員和經(jīng)驗豐富的市場銷售人員,現(xiàn)已經(jīng)發(fā)展成為由利方達(香港)有限公司,深圳市利方達科技有限公司,利方達科技北京辦事處組成的，集真空產(chǎn)品研發(fā),生產(chǎn)及貿(mào)易以及維修服務(wù)為一體的企業(yè)集團。我們的業(yè)務(wù)專長于真空及鍍膜設(shè)備領(lǐng)域的代理銷售業(yè)務(wù)，致力于把世界上*的技術(shù)和設(shè)備引進中國.憑借多年的真空專業(yè)技術(shù)積累, 雄厚的技術(shù)力量和真誠的服務(wù), 我們得到了業(yè)界的眾口稱贊,擁有了大量的客戶群體, 產(chǎn)品廣泛用于真空,光學、電子、半導(dǎo)體、平板顯示等相關(guān)領(lǐng)域.

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射頻電源、中頻電源、直流電源,氣體質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器,光學膜厚控制儀,殘余氣體分析儀

產(chǎn)品簡介在線詢價

美國EXTORR公司四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）

特點及應(yīng)用：

操作簡單

可靠，方便

在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強

優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

對真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

改善質(zhì)量

提高流片量

減少停機時間

改進工藝

縮小工藝周期

降低成本

四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀RGA 產(chǎn)品信息

美國EXTORR公司四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）

特點及應(yīng)用：

•操作簡單

•可靠，方便

•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

•定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強

•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

•對真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

•改善質(zhì)量

•提高流片量

•減少停機時間

•改進工藝

•縮小工藝周期

•降低成本

規(guī)格：

測量氣體范圍 XT100（M） XT200（M） XT300（M）	1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu
檢測類型	法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM）
靈敏度（A/mbar）	5×10^-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率	1 amu ，10%峰高
zui小可檢分壓強	10^-11torr或10^-14 torr（電子倍增器），氮28，10%峰高
工作范圍	10^-4torr到超高真空
工作環(huán)境zui高溫度	40°C
烘烤溫度	300°C（不包括CCU）
通訊端口	RS-232C，115,200 Baud
軟件運行環(huán)境	Windows® 2000或XP