儀器簡(jiǎn)介：

        日本精工電子有限公司的子公司精工電子納米科技有限公司推出配備自動(dòng)定位功能的[X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110]，
使操作性進(jìn)一步提高。 對(duì)半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車(chē)部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測(cè)量管理，可保證產(chǎn)品
的功能及品質(zhì)，降低成本。精工從1971年*推出非接觸、短時(shí)間內(nèi)可進(jìn)行高精度測(cè)量的X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x以來(lái)，已經(jīng)
累計(jì)銷(xiāo)售6000多臺(tái)，得到了國(guó)內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測(cè)量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。
　　為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測(cè)量需求，精工開(kāi)發(fā)了配備有自動(dòng)定位功能的X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110。通過(guò)自動(dòng)
定位功能，僅需把樣品放置到樣品臺(tái)上，就可在數(shù)秒內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦。由此，無(wú)需進(jìn)行以往的手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作，大大
提高了樣品測(cè)量的操作性。
　　近年來(lái)，隨著檢測(cè)零件的微小化，對(duì)微區(qū)的高精度測(cè)量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直
器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。并且，配備有新開(kāi)發(fā)的薄膜FP法軟件，即使沒(méi)有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行
多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測(cè)量，可對(duì)應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。

優(yōu)點(diǎn)
1.即放即測(cè)
   通過(guò)自動(dòng)定位功能，放置樣品后僅需幾秒，便能自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)。
2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測(cè)量 
   以*的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度地提高膜厚測(cè)量的精度。
3.無(wú)標(biāo)樣測(cè)量 
   將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴(kuò)充，即使沒(méi)有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高精度的測(cè)量。也可簡(jiǎn)單地測(cè)量多鍍層膜和合金膜樣品。
4.通過(guò)廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測(cè)量位置
   通過(guò)廣域觀察系統(tǒng)，能夠從畫(huà)面上的樣品整體圖（zui大250×200mm）中方便地測(cè)量位置

技術(shù)參數(shù)：

測(cè)量元素：原子序號(hào)22（Ti）～83（Bi）
X射線(xiàn)源：空冷式小型X射線(xiàn)管
檢測(cè)器：比例計(jì)數(shù)管
準(zhǔn)直器：○型： 0.1mmφ、0.2mmφ　2種
樣品觀察：CCD攝像頭（可進(jìn)行廣域觀察）
對(duì)焦：激光點(diǎn)（自動(dòng)）
濾波器：一次濾波器： 自動(dòng)切換
樣品臺(tái)尺寸： 500（W） x400（D） x 150（H）mm
樣品臺(tái)移動(dòng)量：X：250mm, Y：200mm
操作部：電腦、19寸液晶
測(cè)量軟件：薄膜FP法 （zui多5層膜、10種元素）、標(biāo)準(zhǔn)曲線(xiàn)法
數(shù)據(jù)處理：配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word
安全機(jī)構(gòu)：樣品門(mén)連鎖、樣品的防沖撞功能、儀器診斷功能