技術參數：

1.微聚焦X光管zui大功率50kV,50W, 1.0mA
2.試樣上X光聚焦點直徑300um、100um、30um、20um及連續可變 
3.自動發射束濾波系統（包括全開、關閉和6個濾片，共8個位置）
4.10x及100x（300x）彩色CCD攝像頭
5.樣品室尺寸標準型:直徑360mm,高310mm（大樣品室型為700x700x700mm）
6.自動樣品臺行程100x100x100mm（大樣品室型為300x300x100mm）
7. 標準精度計算機控制的XYZ樣品臺
8.樣品臺載重量: 5Kg,10Kg（大樣品室）
9.可以在真空下或大氣壓下進行檢測
10.可以進行單點或給定多點的自動分析
11.可以進行單視域或多視域組合的元素分布分析（面掃描與線掃描）
12.可以進行超越單視域的元素分布分析（在組合視域中選擇單幅元素分布分析范圍）