質量分析型電子封裝氦質譜檢漏儀MSE-4200
主要特點：
- 檢出靈敏度：10-12-100Pa m3/s （He）
- 保證生產節拍 6sec/c ，BG：2.5 X 10-10Pa m3/s （干燥氮排氣時）
- 的BG恢復性能和操作性
- 大屏幕液晶觸摸屏面板，操作簡單
- 分析管采用長壽命的鍍氧化釷銥燈絲（內置兩根）
- 使用300cc測試容器，快速測定實際泄漏值
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