數控晶圓倒角機WGM-600/800為晶圓磨邊、晶圓倒角的專用設備,利用精密砂輪對晶圓進行研磨整形加工。適用于2″- 6″晶圓、4″- 8″晶圓
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可加工T型、R型、RR型等多種邊形的晶圓
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按照設定參數數控自動倒角加工
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可加工參考邊型晶圓及圓片
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自動進行粗研及精研加工
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可加工方片等異形晶圓
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可自動檢測晶圓直徑
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配備晶圓清洗功能
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配備晶圓干燥功能
數控晶圓倒角機WGM-600/800為晶圓磨邊、晶圓倒角的專用設備,利用精密砂輪對晶圓進行研磨整形加工。適用于2″- 6″晶圓、4″- 8″晶圓
可加工T型、R型、RR型等多種邊形的晶圓
按照設定參數數控自動倒角加工
可加工參考邊型晶圓及圓片
自動進行粗研及精研加工
可加工方片等異形晶圓
可自動檢測晶圓直徑
配備晶圓清洗功能
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