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單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱安徽科冪儀器有限公司
  • 品       牌科冪儀器
  • 型       號
  • 所  在  地合肥市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2025/2/18 16:04:46
  • 訪問次數(shù)139
產(chǎn)品標(biāo)簽:

單溫區(qū) PECVD 系統(tǒng)

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安徽科冪儀器有限公司(Anhui Kemi Instrument Co.,LTD.)成立于2014年,總部設(shè)在安徽省合肥市,擁有近萬平方米的研發(fā)制造基地。公司持有A2級中國特種設(shè)備(壓力容器制造)生產(chǎn)資格許可證,是一家專注于科研儀器設(shè)備和中小試及產(chǎn)業(yè)化合成反應(yīng)裝備研發(fā)、制造的設(shè)備生產(chǎn)廠家。


科冪儀器依托中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)等雄厚的科研力量,研制了多款具有自主知識產(chǎn)權(quán)的合成反應(yīng)設(shè)備。技術(shù)驅(qū)動、方案營銷,專注于非標(biāo)方案的設(shè)計和多維立體化服務(wù)。產(chǎn)品已成功進(jìn)駐國內(nèi)所有985、211高校實驗室及新材料、新能源、生物制藥、生態(tài)環(huán)境等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)頭部企業(yè),并遠(yuǎn)銷歐美、澳洲、中東等地,覆蓋國內(nèi)外科研及企業(yè)客戶20000余家,助推研發(fā)應(yīng)用4000余項,助力用戶發(fā)表SCI(一區(qū))論文900余篇。


作為央視《中國品牌故事》入選企業(yè)、安徽省專精特新企業(yè)、合肥市工業(yè)設(shè)計中心,科冪儀器秉承“嚴(yán)謹(jǐn)專業(yè)·創(chuàng)新高效·精益求精·創(chuàng)造價值”的科冪精神,致力于用專業(yè)和品質(zhì)推動產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展,為科研工作者加速取得科研成果提供更加“安全·便捷·精確·高效”的儀器設(shè)備。 未來5年,公司計劃賦能用戶發(fā)表國際學(xué)術(shù)論文(一區(qū))2000篇、應(yīng)用成果1000項,發(fā)展成為合成反應(yīng)儀器技術(shù)和品牌的行業(yè)專業(yè)企業(yè)。

反應(yīng)釜,高溫高壓反應(yīng)釜,平行反應(yīng)釜,管式爐,馬弗爐,催化反應(yīng)器,固定床反應(yīng)裝置
加熱方式 電阻絲 控溫精度 ±1℃
升溫速度(達(dá)到最高溫) ≤10℃//min 儀器種類 管式爐
最大功率 3KkW 最高溫度 1200℃
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;
與傳統(tǒng)CVD相比較.生長溫度更低
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

特點(diǎn):高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;

滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)與傳統(tǒng)CVD相比較.生長溫度更低


技術(shù)參數(shù)



項目


型號
TFE - 1200 - 50 -  220 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)


可達(dá)溫度


1150℃(短期)


額定溫度


1100℃


推薦升溫速率


≤10℃/min


控制精度


±1℃


爐管尺寸


Φ30/50/60*1200mm


爐膛尺寸


Φ80*220mm


加熱區(qū)長度


220mm


恒溫區(qū)長度


80mm


加熱元件


優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲


額定功率


3KW


供氣系統(tǒng)


三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)


射頻電源


射頻功:5-500W;射頻頻:13.56MHz;匹配方式:自動匹配


真空系統(tǒng)


雙級旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等)


外形尺寸


1250*510*810mm


關(guān)鍵詞:真空泵
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