純蒸汽發生器由輸送泵將原料水輸送至預熱器，原料水被蒸發器工業蒸汽凝結水進行預熱，預熱后的原料水進入蒸發器布水器中，均勻地分布到蒸發器列管中，在列管內壁形成薄膜狀的水流，蒸發器殼程通入工廠蒸汽加熱列管中的原料水，這些分散的水流因為流速慢流量小所以很快被蒸發，產生夾帶水滴的二次蒸汽；

二次蒸汽經蒸發器進入汽水分離器，經過三級汽水分離裝置，首先經過降膜蒸發，即原料水沿列管內壁向下流動，同時蒸發；其次是二次蒸汽在導氣管的下端180度折返，含雜質的濃水在重力作用下被分離并定時排出，最后是二次蒸汽折返后盤旋離心上升到中上部氣霧分離裝置，最終分離出干燥且熱能值高的純蒸汽，輸出至各生產工藝用汽點進行消毒滅菌使用。

微量純蒸汽被收集，并經過取樣冷凝器與原料水換熱，冷卻成為蒸餾水；經過電導率的在線檢測，判斷純蒸汽是否合格。

未被蒸發的原料水和分離后的濃水沿蒸發器沉降管于底部排出機外。

工業蒸汽在蒸發器被原料水吸收熱量后凝結成工業蒸汽凝結水，凝結水作為預熱器的加熱源，預熱原料水后從預熱器排水口排出機外。

在原料水中有一種不能凝結成水的一部分氣體，被稱作不凝性氣體，此部分不凝氣體依自動化控制程度的不同，在蒸發器頂部設有不凝氣體連續排放裝置排出機外。