設備優勢
◎ 本機器采用晶圓自旋轉研磨法的原理為:如圖a 采用略大于晶圓的工件轉臺,工件通過真空吸盤夾持在工件轉臺的中心,磨輪邊緣調整到工件的中心位置,工件和砂輪繞各自的軸線回轉,進行切入減薄。砂輪與工件的接觸長度、接觸面積、切入角不變,研磨力恒定,加工狀態穩定,可以避免工件出現中凸和塌邊現象。尤其對較薄的工件表現較為明顯。
◎ 研磨主軸均采用氣浮軸承結構,定子、轉子之間由于沒有機械軸承的摩擦力,磨損程度降到了,從而確保精度始終保持穩定。
◎ 氣浮軸承阻力較低,允許較高的速度,并能同時保持較低的振動水平。
◎ 氣浮主軸精確的、可重復的運動,使得表面光度達到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的,轉子所經受的、來自外負載的作用力,在其旋轉時穩定的分布在所有點上。這一特性與磨削時產生良好的表面光度息息相關。
性能參數
參數名稱 | 單位 | DL-GD3002A | |
晶圓尺寸 | in | ?12'' (?4''/?6''/?8''/?12'') | |
研磨方式 | - | 晶圓旋轉進給磨削 | |
砂輪直徑 | mm | ?300金剛石砂輪 | |
主軸 | 額定功率 | KW | 7.5/12.9 |
額定轉速 | RPM | 4000 | |
磨削精度 | 片間厚度變化 | um | ≤±3 |
TTV | um | ≤3 | |
表面粗糙度Ra | um | 0.15(#2000) | |
設備尺寸(W x D x H) | mm | 1150x1260x1950 | |
設備重量 | KG | 約1600 |