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單工位減薄機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市夢啟半導體裝備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號DL-GD3002A
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/10/2 13:46:51
  • 訪問次數138
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深圳市夢啟半導體裝備有限公司成立于2021年,是經深交所主板上市公司長盈精密投資控股的子公司,是一家專注于半導體產業與新能源產業的智能裝備制造企業,公司主要專業從事全自動高精密晶圓減薄機、高精密晶圓拋光機、全自動高精密晶圓倒角機、晶圓研磨機、晶圓上蠟機等硬脆材料的加工裝備、以及高精度氣浮主軸部件系列產品的研發、生產和銷售。


產品廣泛應用于半導體產業和新能源產業包括但不限于太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍寶石片、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的加工,同時,公司也提供技術支持和售后服務,以滿足客戶的各種需求。


作為一家智能裝備制造企業,深圳夢啟半導體裝備注重技術創新和產品質量。公司擁有一支專業的研發團隊,可以根據市場需求和客戶需求進行定制化開發。同時,公司也擁有生產設備和完善的品質管理體系,確保每一臺設備都符合客戶的期望和要求。在未來的發展中,深圳市夢啟半導體裝備有限公司將繼續致力于技術創新和產品質量提升,為客戶提供更優質、更可靠的智能裝備解決方案。

 

全自動晶圓減薄機、晶圓研磨機、晶圓倒角機、CMP拋光機
單工位減薄機是單主軸、單工作臺,結構簡單緊湊的精密研削減薄機。適用于Φ300mm以下的硅晶圓、碳化硅、藍寶石、陶瓷、光學玻璃等硬脆性材料的精密研磨。
單工位減薄機 產品信息
設備優勢

◎ 本機器采用晶圓自旋轉研磨法的原理為:如圖a 采用略大于晶圓的工件轉臺,工件通過真空吸盤夾持在工件轉臺的中心,磨輪邊緣調整到工件的中心位置,工件和砂輪繞各自的軸線回轉,進行切入減薄。砂輪與工件的接觸長度、接觸面積、切入角不變,研磨力恒定,加工狀態穩定,可以避免工件出現中凸和塌邊現象。尤其對較薄的工件表現較為明顯。


◎ 研磨主軸均采用氣浮軸承結構,定子、轉子之間由于沒有機械軸承的摩擦力,磨損程度降到了,從而確保精度始終保持穩定。


◎ 氣浮軸承阻力較低,允許較高的速度,并能同時保持較低的振動水平。


◎ 氣浮主軸精確的、可重復的運動,使得表面光度達到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的,轉子所經受的、來自外負載的作用力,在其旋轉時穩定的分布在所有點上。這一特性與磨削時產生良好的表面光度息息相關。

性能參數
參數名稱單位DL-GD3002A
晶圓尺寸in?12'' (?4''/?6''/?8''/?12'')
研磨方式-晶圓旋轉進給磨削
砂輪直徑mm?300金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW7.5/12.9
額定轉速RPM4000
磨削精度片間厚度變化
um≤±3
TTVum≤3
表面粗糙度Raum0.15(#2000)
設備尺寸(W x D x H)mm1150x1260x1950
設備重量KG約1600
15700106413
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