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全自動單工位晶圓減薄機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱深圳市夢啟半導體裝備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號DL-GD3002A
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/10/2 13:45:34
  • 訪問次數358
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深圳市夢啟半導體裝備有限公司成立于2021年,是經深交所主板上市公司長盈精密投資控股的子公司,是一家專注于半導體產業與新能源產業的智能裝備制造企業,公司主要專業從事全自動高精密晶圓減薄機、高精密晶圓拋光機、全自動高精密晶圓倒角機、晶圓研磨機、晶圓上蠟機等硬脆材料的加工裝備、以及高精度氣浮主軸部件系列產品的研發、生產和銷售。


產品廣泛應用于半導體產業和新能源產業包括但不限于太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍寶石片、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的加工,同時,公司也提供技術支持和售后服務,以滿足客戶的各種需求。


作為一家智能裝備制造企業,深圳夢啟半導體裝備注重技術創新和產品質量。公司擁有一支專業的研發團隊,可以根據市場需求和客戶需求進行定制化開發。同時,公司也擁有生產設備和完善的品質管理體系,確保每一臺設備都符合客戶的期望和要求。在未來的發展中,深圳市夢啟半導體裝備有限公司將繼續致力于技術創新和產品質量提升,為客戶提供更優質、更可靠的智能裝備解決方案。

 

全自動晶圓減薄機、晶圓研磨機、晶圓倒角機、CMP拋光機
全自動單工位晶圓減薄機具有多段磨削程序、超負載等待等功能,滿足各類工藝需求。兼容4寸~12寸(Φ100mm~Φ300mm)晶圓研削減薄加工。
全自動單工位晶圓減薄機 產品信息
設備優勢

◎ 減薄單元采用軸向進給(In-Feed)磨削原理,兼容4寸~12寸(Φ100mm~Φ300mm)晶圓研削減薄加工。


◎ 設備配有MARPOSS精密在線測量儀單元,加工時實時測量產品厚度,精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測量NCG。


◎ 設備具有多段磨削程序、超負載等待等功能,滿足各類工藝需求。


◎ 設備核心是具有自主產權的靜壓氣浮磨削主軸、1個承片主軸的全自動單工位磨削減薄機。


◎ 為了實現高精度、高品質的加工,搭載了高剛性、低振動、低熱膨脹的氣浮主軸。工作臺的主軸亦同樣搭載高剛性、低振動、低熱膨脹的機械軸承部件。


◎ 全自動上下料??蛇M行4寸(40um)~12寸(80um)超薄晶圓加工。


◎ 配置了觸摸式液晶顯示器,提高了操作便利性??刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設備狀態,操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作。

性能參數
參數名稱單位DL-GD3002A-X
晶圓尺寸in兼容?4''/?6''/?8''/?12''(Φ100mm~Φ300mm)
研磨方式-晶圓旋轉進給磨削
砂輪直徑mm?250/?300金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW5.5/7.5/12.3
額定轉速RPM3000
磨削精度片間厚度變化
um≤±3
TTVum≤3
表面粗糙度Raum0.15(#2000)
設備尺寸(W x D x H)mm1650x1945x2135
設備重量KG約3500
15700106413
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