等離子凈化器采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的離子起決定性的作用。流星雨狀的離子與介質內分子（原理）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。污染介質在等離子體的作用下，產生活性自由基，活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。當離子平均能量超過污染介質中化學鍵結合能時，分子鏈斷裂，污染介質分解，并在等離子凈化器的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發生各類型的化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離分子密度、氣體溫度、污染物介質內分子濃度及共存的介質成分。

對氣態污染物的降解機理有足夠的能量來產生自由基，引發一系列復雜的物理、化學反應。由低溫等離子體引起的氣體物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發、原子.分子間的相互結合及加成反應。這個能量足以使大多數氣態物中的化學鍵發生斷裂，從而使其降解。

初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性氧離子（O2－），結果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2－、O2等氧聚集的離子群，具有的氧化性，可在很短的時間內將污染空氣中的成分氧化分解為產物和水。

等離子凈化器煉油廠、橡膠廠、化工廠、家具廠、制藥廠、污水處理廠各種廢氣、廢氣均可使用。