3MTMNanoSHIELD聚丙烯中空纖維膜濾芯/膠囊，用于電子工業高精度過濾?？捎糜诠庵驴刮g劑或高純度藥品的過濾。對光致抗蝕或高純度藥品有耐液性。中空纖維膜技術比折疊濾芯的過濾面積大。
應用領域：193mm光致抗蝕劑，ARC\BARC\TARC，蝕刻液，酒精類，堿類，顯像液，各種溶劑。
3MTMNanoSHIELD聚丙烯中空纖維膜濾芯/膠囊參數表
濾芯尺寸 | |
材質 | 聚丙烯中空纖維膜 |
過濾精度（微米） | 5nm、0.01μm、0.02μm、0.05μm、0.1μm、0.2μm |
造型 | LHV軟管，SDC\MDC\LDC膠囊、HFP濾芯 |
操作溫度 | 40℃ |
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