掃描型X射線熒光光譜儀從儀器的硬件與軟件在許多細節都進行了改進，使得儀器的可靠性與可操作性更進一步提高，增加了在行業內優先自主研發創造的250μm微區分布成像分析功能，從而達到更高的水平的完善程度。

· 在波長色散型裝置中，250μm微區分布成像分析功能，可分析不均勻樣品的含量分布、強度分布。

· 利用高次譜線進行準確的定性/定量分析 高次譜線的判定更加準確，提高了定性定量分析的準確度/可靠性。

· 測定高分子薄膜的膜厚與無機成分分析的背景基本參數(BG-FP)法。利用康普頓散射/瑞利散射的強度比計算出熒光X射線分析不能得到的氫（H）元 素的信息。高分子薄膜分析中，利用康普頓散射線的理論強度作為高分子薄膜 的信息。

· 微區分析結構：獨自開發的特殊形狀的滑動式視野限制光欄，利用r方向滑動與樣品旋轉控制的q轉動，可以在30mm直徑內的任意位置進行分析。

· 利用CCD相機可以直接觀察樣品，在測定室導入樣品的位置上，將樣品容器按照與測定位置相同的方式放置，通過CCD攝取樣品的圖像，可使測定位置與圖像相吻合。

· 集成模塊功能,匹配分析功能，對應于液體、粉末、固體、金屬、氧化物等不同形態的樣品具有相應的分析條件，在這基礎上可編制更佳的分析條件。可根據不同材質。判定、品種分類、品種判定、一致性檢索這4種匹配功能進行判定、檢索。