美國Semisonsoft膜厚測量儀

MProbe - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY

美國Semisonsoft公司MProbe系列薄膜測厚儀測量厚度可以低至1nm，厚至1.8mm，埃級分辨率，非接觸式無損快速測量。廣泛應用在各種生產(chǎn)或研究中，比如測量薄膜太陽能電池的CIGS層，觸摸屏中的ITO層等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。

測量原理：當波長范圍的光照射到薄膜上時，從不同界面上反射的光相位不同，從而引起干涉導致強度相長或相消。而這種強度的振蕩是與薄膜的結構相關的。通過對這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關的光學常數(shù)。

比如：

半導體（硅，硅，多晶硅）

半導體化合物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）

微電子機械（MEMS）

氧化物/氮化物

光刻膠

硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）

聚合物涂層（聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺）

高分子聚合物

MProbe膜厚測量儀操作簡單，只需一鍵操作即可獲得樣品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息，膜厚測量設備可支持不同光譜范圍，光譜范圍可達200-1700nm，因此可測量厚度范圍可從1nm到2mm。 設備中無移動組件，所以測量結果幾乎是即時得到的；TFCompanion測量軟件使得測量過程非常簡單且透明，測量歷史、動態(tài)測量、模擬、顏色分析、直接在樣品圖像上顯示結果。

分類：

1、單點膜厚測量——MPROBE-20
2、單點手持膜厚測量——MPROBE HC
3、聚焦光斑膜厚測量儀——MPROBE 40
4、原位測量膜厚測量儀——MPROBE 50 INSITU
5、支持Mapping的聚焦膜厚測量儀——MPROBE 60
6、在線膜厚測量儀——MProbe 70