MODEL 3660系列是一款質量流量控制器，主要結構緊湊，成本低廉。
從大學和研究機構的研發應用中，我們作為各種分析儀器和真空設備的標準模型取得了許多成就，我們有各種衍生模型和選項。
- 配備流量傳感器，采用改進的恒流溫差檢測方法，實現高速響應
- 采用常閉閥門，方向操作安全
- 通過電磁執行器確保高可靠性
- 燃氣控制的低壓差規格（LP選項：3660）
標準規格
| 模型 | 3660 | 3665 | |
|---|---|---|---|
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM（可選） | 30SLM~100SLM（可選） | |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方法 | 比例螺線管閥門（未通電時關閉） | ||
| 控制范圍（* 1） | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | |
| 響應速度 | 在2秒內 （在±2％F.S.內） | 在3秒內 （在±2％F.S.內） | |
| 準確性 | ±1.0％F.S.（25°C） | ±1.5％F.S.（25°C） | |
| 溫度系數 | ±0.1％F.S./°C（15~35°C） | ±0.2％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現性 | ±0.5%F.S. | ||
| 操作壓差 | F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G） | F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G） | F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G） | ||
| 可選：中壓差壓規格（MP），低壓差規格（LP）可根據條件制造 | |||
| 壓力（* 1） | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 2） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | ||
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
| 允許環境濕度 | 10~90%RH（無結露） | ||
| 氣體接觸材料 | 主體SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼 | ||
| 閥座FKM（選件CR或NBR） | |||
| 密封材料FKM（選件CR或NBR） | |||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） | ||
| 流量設定 輸入信號 | 0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上） | ||
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） | ||
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA | ||
| 接頭 （體型） | 標準1 / 4F900 （9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | 標準3 / 8F 900 （9 / 16.18 UNF） 選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 | |
| 重量 | 約1000g | 約1500g | |
（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
警告
流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產規格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。
尺寸圖
