KOFLOC DF-200 質量流量控制器

DF-200系列是一款高性能數字質量流量控制器，可在1秒（全范圍）內實現±1％SP的精度和響應。 此外，它兼容多氣體和多量程，可輕松更換包括參考氣體在內的7種氣體及其流量范圍，使其成為具有出色通用性的產品。

傳感器方式    熱繞組傳感器
閥門方式    比例電磁閥（未通電時關閉）
目標氣體（* 1）    多氣體：
N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2）
流量范圍（* 3）    10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2）
控制范圍    2至100％（F.S.）
反應能力（* 4）    總流量控制范圍在1秒內（±2％F.S.）
L：50kPa~149kPa　H:150kPa~300kPa
精度（* 5）    ±1.0％SP（> 35％F。S.），
±0.35％F。S.（≦35％F。S.）
再現性    ±0.25％FS
工作壓差（* 6）    50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa）
入口壓力    500kPa（G）
耐壓    980kPa（G）
He泄漏率（* 7）    1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
溫度    允許周圍溫度    5～50℃
精度保證溫度    15～35℃
允許儲存溫度    -10～60℃
允許環境濕度    10～90%RH （無結露）
氣體接觸材料    SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，FKM
電氣連接    D-sub 9針KFC標準（符合SEMI標準），RJ-45模塊化插孔x 2
流量設定信號    0至5 VDC（輸入阻抗約1MΩ）
流量輸出信號    0至5 VDC（負載電阻10kΩ或更高）
數字通信    使用RS485旋轉開關設置地址：最多99（9600 bps）
所需電源（DC）    +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接頭（* 8）    1 / 4F 900（標準），1/4 UJR，Rc1 / 4
安裝姿勢    推薦水平方向
重量（* 9）    約850g