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HMDS預處理系統/充HMDS氣體真空烘箱/HMDS真空烤箱(容積:90升)

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海和呈儀器制造有限公司
  • 品       牌
  • 型       號HMDS-6090
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/9/14 7:17:32
  • 訪問次數207
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上海和呈儀器制造有限公司主要提供:高低溫試驗箱、高溫箱、恒溫恒濕試驗箱、低溫箱、恒溫恒濕機、真空烘箱、高低溫交變試驗箱、高低溫沖擊試驗箱、高低溫濕熱試驗箱、防潮柜、鼓風干燥箱等系列恒溫干燥設備產品,其產品被廣泛應用于:制藥;機械;高校;電子;化工;醫療機構;食品;科研單位等各個領域。  HASUC非常感謝過往所有企業客戶為HASUC所提供的合作機會,并為我們的合作深感榮幸。經過多年的努力,我們不僅對產品技術進行了改進,而且對于售前、售后服務理念也有很高的提升,我們的服務宗旨是“開拓、拼搏、實干、奉獻”,一切以用戶需求為中心,希望通過專業水平和不懈努力,塑造企業品牌形象,為產品品牌推廣文化發展提供服務指導。   我們注重品質和服務,為打造“HASUC”的品牌形象,公司每年對銷售部、市場部、產品研發部、技術部、售后服務部各部門指導服務。在2012年度劃分了區域,各業務員和售后服務人員有了更遠的目標。  公司各管理機制開展以來,HASUC每位員工一直秉承以用戶需求為核心,在專注全國各大中型城市市場開拓的同時,也為偏遠郊區的客戶提供了專項服務,解決了偏遠地區運輸不便的難題。優質、用心的服務贏得了眾多企業和個人的信賴和好評,在國內干燥設備市場已樹立起公司良好品牌形象。我相信,通過我們的不斷努力和追求,一定能夠實現與中小企業的互利共贏!  在HASUC,我們不變的使命是為企業客戶提供更多品質產品及優質服務,我們能為您做的還有更多!
產品型號:HMDS-6090HMDS真空烘箱產品特點:1、機外殼采用不銹鋼SUS304材質制造,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置
HMDS預處理系統/充HMDS氣體真空烘箱/HMDS真空烤箱(容積:90升) 產品信息

產品型號: HMDS-6090 HMDS真空烘箱
產品特點:
1、機外殼采用不銹鋼SUS304材質制造,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。
2、箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。
3、微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。
4、智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。
5、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。
6、整個系統采用材料制造,無發塵材料,適用100 級光刻間凈化環境。
產品技術參數:
電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率:3000W
控溫范圍:室溫+10℃-250℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動度:±0.5℃
達到真空度:133Pa
容積:90L
工作室尺寸(mm):450*450*450
外形尺寸(mm):850*700*1400
載物托架:2塊
時間單位:分鐘
選配件:
真空泵:德國品牌,萊寶“DC”雙極系列旋片式油泵,極限真空高,噪音低,運行穩定。
連接管:不銹鋼波紋管,密封將真空泵與烘箱連接。
HMDS預處理系統的必要性:
在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。
HMDS真空烘箱的原理:
HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS真空烘箱的一般工作流程:
先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真空度達到某一高真空度后,開始充人氮氣,充到達到某低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業過程。HMDS與硅片反應機理如圖:先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應,在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。
尾氣排放等:多余的HMDS蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道。在無專用廢氣收集管道時需做專門處理。
圖片: 外殼冷軋板烤漆


外殼不銹鋼材質

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