光氧催化廢氣處理凈化設備利用高臭氧分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，使呈游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物。如CO2、H2O等。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。
使用注意事項：
1、為使設備的凈化效率，風機應設在UV光氧催化器的后面。
2、如安裝在支架之上時，應與支架緊固連接，與排氣管道之間的連接須密封。
3、應安裝在室外，有足夠的空間用來維護與維修，室外安裝時，應家裝防雨、遮陽的遮陽蓬，以免影響廢氣凈化器的正常使用壽命機增加其他的維護費用。
4、為使UV光氧催化器的凈化效率，與設備出入風口連接的變徑風管要盡量平順。
5、箱體應接地，安裝過程中不允許磕碰電極，避免異物落在凈化器內等。
光氧催化廢氣處理凈化設備本裝置是利用高能電子束照射空氣以產生自由電子和空穴對空氣進行電離作用而生成臭氧的凈化過程；其機理為使o2分子在p0作用下生成o3（即活性氧）自由基。
o3自由基與空氣中的水蒸氣結合形成oh自由基.oh自由基是一種強氧化劑，能與許多有機化合物如醛類化合物、胺類化合物以及部分無機物如nh3、ch4等反應生成相應的酸或鹽并進而被氧化為co2
和h2o由于o3的自由基極不穩定且會很快分解成氧氣和單個的氧氣原子；所以通過特殊的裝置使這些易反應的o3自由基與其他物質相結合來持續地得到穩定的臭氧。該裝置由兩個電極組成一個電極用于收集空氣中多余的臭氧，另一個電極用于收集從水中析出的溶解性氣體；本實驗利用的是電解法原理。
光氧催化廢氣處理設備是采用的光觸媒氧化技術，將空氣中的有害有毒氣體進行分解和凈化。
