德國Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機
基本設備:
。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm
。腔室容積:約35升
。供電電源:230V/16A
氣源:
。3個質量流量控制器(MFCs)
控制系統:
。PCCE控制系統(Microsoft Windows XPe)
發生器:
。頻率:40KHz, 功率 0-500W
, 功率 0-300W
。直流偏置電源或單極性脈沖,功率300W,電壓600V,直流電
。發生器為 0-99% 無級可調型
真空腔室:
。硼硅玻璃材質的玻璃罩,直徑315MMx高500MM
真空泵:
。規格和制造商均各有不同(按照活性炭過濾器的需要)
濺射源:
。1個濺射源2"-3"+擋板(可為反應過程選配排煙管和進氣口)
基材支架:
。直徑140MM(可選擇旋轉型,基材加熱器,基材冷卻裝置)
。可切換為等離子預處現的電極(清洗,活化,蝕刻)
壓力測量:
。Pirani
其它選項:
備件套件,壓力計,腐蝕性氣體設計結構,氣瓶,減壓器,加熱板,溫度顯示器,加熱型腔室,Faraday Box, 等離子體聚合配件,試墨水,氧氣發生器,慢速通風裝置,慢速抽吸裝置,TEM樣品架法蘭,維護/服務,當地語言的文件,現場安裝,包括培訓,可應需求提供的其它選項。