美國 Harrich PDC-MG 高集成度等離子清洗機
技術參數:
1.整機規格:500×300×300(長×寬×高)mm
2.整機重量:35 Kg
3.清洗艙規格:Φ165×L210 mm (耐熱玻璃)
4.清洗艙有效容積: L
5.輸入電源:220 V/50 Hz
6.整機輸入功率:400 W
7.射頻輸出:0~150 W(連續可調)
8.射頻頻率: MHz
9.數字式定時器范圍:0~ min
10.極限真空度:60 Pa
11.二路浮子流量計:~/min量程,方便二種氣體按比例混合
12.觀察窗:觀察清洗倉內輝光狀態
13.常用工作氣體:空氣、氬氣、氮氣或混合氣體
型單相真空泵