SS-60系列掃描電子顯微鏡
一、產(chǎn)品命名規(guī)則：
SS-60系列產(chǎn)品作為基礎(chǔ)款臺(tái)式掃描電鏡，能 大部分用戶的基本實(shí)驗(yàn)需求，配置SE二次電子探測器與BSE背散射電子探測器，載物平臺(tái)可配置三軸（X,Y,R）手動(dòng)平臺(tái)，也可升級(jí)為五軸（X,Y,R,Z,T）自動(dòng)平臺(tái)，全系列產(chǎn)品均可配置EDS能譜分析儀，產(chǎn)品包括如下配置：
Item | Model | With Detector Option | WithStage Option |
Mini-SEM | SS-60 | SS-60S | SS-60S-MS |
SS-60D | SS-60D-MS | ||
SS-60D-ST |
二、簡單說明：(Description)
（1） 放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000x）
（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）1kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）
（4）通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）高真空配置（High Vacuum System）
（6）Tilt（0~45）載物臺(tái)配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）
三、 技術(shù)參數(shù)：(Product specifications)
分辨率（Resolution） | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
加速電壓（Accelerating Voltage） | 1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30kV-6step) |
圖像檢測 （Signal Detection）` | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SEI+BSEI) | |
觀察模式 Observation mode | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
電子槍系統(tǒng)（Electron Gun） | |
燈絲類型（Filament type） | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲（Pre CenteredtungstenfilamentCartridge） |
偏壓系統(tǒng)（Bias voltage system） | 自動(dòng)偏壓方式（Automatic mode） |
電子槍校正 （Electron gunalignment） | 手動(dòng)方式（Manual mode） |
