燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的專用設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。
燒結區爐管采用耐熱鑄鋼制的馬弗爐爐管,且爐管留有充分的長度,可使保護氣氛穩定,能保證傳送帶上的橫向溫差控制在±2℃以內。為了不使在預燒區脫潤滑劑時污濁了的保護氣體流入燒結區,在預燒區和燒結區之間設有擋板,以阻止這部分氣體流入。爐管的隔熱材料除承受爐管的重力外,全部采用陶瓷纖維,因此熱經濟性好,隔熱效果好,從而使爐體表面溫度控制在60℃以下。用SiC加熱元件間接式加熱。可以從外部更換。另外加熱器的各個端子采用的是耐熱材料。
金屬還原高溫燒結爐使用的注意事項
(1)當使用氫氣或分解氨時,要先通入氮氣,在確保爐中的空氣被排出時,才能通電升溫,以防止打鳴和爆炸。
(2)對鉬絲作加熱元件的燒結爐,在通電前爐體中應通入保護氣體,以防止鉬絲氧化而脆斷。
(3)爐門及氣體排出口應點明火燒除,以防止氧氣進入或氫氣排出而發生爆炸危險和煤氣中毒危險。
(4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲,在升溫至1100℃時應停留一段時間(30min左右)再升溫,以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。
(5)在升溫前和操作中應不時檢查氣流、水流是否符合要求,以及檢查設備、電和爐溫的控制儀表是否正常。
(6)停爐前應先斷電,在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。
(7)除了因維修必須停爐外,要避免頻繁停爐。燒結爐的頻繁開停,會造成加熱元件易于老化,耐火材料易于碎裂,爐內氣氛不純,爐溫容易波動等弊端。