haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型 L12542
haradacorpVUV真空紫外線電離器 光照射型 L12542
光照射型
使用光電離的靜電消除器
VUV（真空紫外線）電離器 L12542
減壓靜電消除技術(shù)
VUV (Vacuum Ultraviolet) Ionizer L12542 是可以解決半導體、FDP 等制造過程中惰性氣體或減壓環(huán)境中的靜電問題的靜電消除系統(tǒng)。與光照射型光電離子發(fā)生器一樣，不存在電極產(chǎn)生灰塵的問題，可以實現(xiàn)干凈的靜電消除。
特征
(1) 減壓下的最大效果
由于壓力降低時離子的平均自由程變長，因此靜電消除性能進一步增強。
(2) 剩余電位為0V
由于正負離子和電勢在空間均勻分布，所以被除靜電物體的殘余電勢為0V。
(3) 無氣流依賴性
在紫外線照射法中，由于氣體在寬范圍內(nèi)被離子化，因此無論氣體的流動狀態(tài)如何，都可以獲得穩(wěn)定的靜電消除性能。
(4) 無電磁噪音
由于使用紫外線照射的電離系統(tǒng)，不會產(chǎn)生電磁噪聲。
(5) 適用于任何制造設備
該系統(tǒng)僅由三點組成：氘燈、電源裝置和法蘭。易于連接到制造設備和運輸隧道。
(6) 免維護
無需離子平衡調(diào)整等日常維護。只有氘燈需要更換。
| VUV離子發(fā)生器L12542基本規(guī)格 | ||
| 光源（氘燈） | ||
| 方法 | 真空UV照射法 | |
| 尺寸 | 60φ×160L（視窗直徑26φ） | |
| 光源 | 真空紫外氘燈 | |
| 輻射紫外線波長范圍 | 115nm 至 400nm | |
| 冷卻方式 | 風扇強制風冷 | |
| 窗料 | 窗口材料 MgF2 | |
| 大量的 | 530克 | |
| 電源（動力裝置） | ||
| 尺寸 | 117W×90H×200D | |
| 冷卻方式 | 風扇強制風冷 | |
| 電源（AC）/功耗 | 100-240V 50/60Hz 90VA | |
| 大量的 | 1.8公斤 | |
光離子化系統(tǒng)“Photoionizer”使用清潔離子生成方法“Photoionization”。與傳統(tǒng)的電暈放電方法不同，我們實現(xiàn)了不會產(chǎn)生“灰塵、電磁噪聲或臭氧”的清潔靜電消除。此外，由于離子生成平衡，因此不會發(fā)生反向充電。由于帶電物體附近的分子被電離以消除靜電，因此消除靜電的效率，可以瞬間消除高速運動物體和粉末的靜電，這在以前是困難的。是從“對象”、“速度”、“環(huán)境”、“可靠性”等方面解決靜電消除問題的靜電消除系統(tǒng)。
無需鼓風機
在弱X射線照射的整個范圍內(nèi)不斷產(chǎn)生離子。由于帶電物體附近產(chǎn)生的離子直接有助于靜電消除，因此無需通過吹氣來傳送離子。也可以去除輕質(zhì)部件和粉末的靜電。
高離子濃度
在電暈放電型的情況下，電極附近的區(qū)域是產(chǎn)生離子的區(qū)域，而在弱X射線照射方法中，整個照射區(qū)域都是離子產(chǎn)生區(qū)域，這提高了靜電消除的效率。靜電消除時間也縮短了。
無反向充電
在弱X射線照射型中，同時產(chǎn)生等量的“正”離子和“負”離子，因此不會發(fā)生反向帶電。如果產(chǎn)生的離子平衡不平衡，只有其中一個離子會繼續(xù)大量存在，造成相反的電荷。沒有像電暈放電型那樣的“正”或“負”調(diào)整。
無需清洗電極
對于電暈放電型，灰塵會粘附在電極上并降低除電效果，因此需要經(jīng)常清潔電極。光電離子發(fā)生器無需長時間維護，可保持較高的靜電消除效果。
測量條件
充電電壓：1 kV 至 100 V（無吹風，溫度 26°C，相對濕度 50%）
充電板（150 x 150 mm，20 pF）
