產品介紹
名稱 | 大型等離子清洗機 |
型號 | TS-PL700MA |
外形尺寸(W×D×H) | 1400×650×800mm |
反應腔尺寸(W×H×D) | 2300×1250×1850mm |
真空腔體材料 | 進口316L不銹鋼 |
真空泵 | 進口品牌、二級泵 (干泵+羅茨組合) (油泵+羅茨組合) |
角閥 | Youch 超高真空60KF |
流量控制儀及顯示儀 | Sevenstar 0-800ml/min |
真空顯示規管及讀取器 | Pirani |
射頻電源 | 美國進口品牌40KHZ 13.56MHZ |
PLC系統 | 三菱(包括PLC,A/D模組兩組,D/A模組兩組,溫度模塊) |
電器系統 | 施耐德 |
變頻器 | 西門子2KW |
觸摸屏 | 中國臺灣威綸真彩10.7寸 |
陶瓷封裝 | 進口高頻陶瓷 |
處理氣體 | O2、Ar2、N2,H2、CF4 |