盡管一次制高純氮的工藝成熟完善，但是有些用氮量較大的用戶出于成本考慮，采用生產普氮，再對普氮進行純化的方式獲取高純氮，可以大幅降低設備運行成本，氮氣純化一般采用加氫純化和碳燃燒純化兩種方式。
加氫純化設備采用催化脫氧+吸附干燥方法，在催化劑下，普氮中的微量氧與氫氣發生反應，除去氧而生成水．其化學反應式為2H2+O2→2H2O+Q。然后再通過吸附干燥裝置除去水、二氧化碳和塵埃等雜質，獲取高純氮氣。由于產品氣里存在少量氫氣，本設備適用于對產品氣含氫量無特殊要求的用戶。
本設備由氮氣分析儀、流量計、質量流量控制器、可編程序控制器、除氧塔、干燥塔、冷干機、熱換器、過濾器、管道氣動閥、電磁閥及控制系統組成。
設備特點
1. 采用的高效脫氧催化劑，活性好無需加熱、活化、再生，有良好的抗中毒性，壽命達5年以上；
2. 全自動控制，工作、再生自動切換，可選配質量流量控制器，自動加氫；
3. 設計科學、結構緊湊，外型美觀、占地面積少；
4. 用換熱器降低除氧后混合氣溫度，使設備無需冷卻水；
5. 通常產品氣露點D.P≤-60℃，可滿足特殊用戶要求達到：產品氣露點D.P≤-70℃；
6. 再生氣排放量低，節約能源。
