技術參數:
1 測量速度快,速度為117fps2 機架配有減震裝置
3 氙燈照明:波長400-700nm
4 XY方向線分辨率:160nm
5 Z方向高度測量:可達15mm,不僅精度10nm
6 顏色深度:3x8bit(RGB)
7 配有ZEISSECEPIPLAN系列物鏡,其優勢不僅在于出色的點擴散函數,更特別在于其色差校正性能已被大大的
提高了,并通過減少散射光提高了反差
8 軟件功能強大
8.1 2D:長度,面積,面積比,直徑,周長,形貌,角度,圖像校正等。
8.2 3D:高度,粗糙度(據標準DIN EN ISO 4287),體積,表面積,顆粒度分析等
8.3 圖像拼接功能實現了高倍放大、大視野功能并能輸出報告形式。