臭氧濃度在0.02ppm時，嗅覺靈敏的人便可覺察，稱為感覺臨界值，濃度在0.15ppm時為嗅覺臨界值，一般人都能嗅出，也是衛生標準點。當濃度達到1-10ppm時，稱為刺激范圍。事實上安全使用臭氧可以保證人的健康不受危害。臭氧應用一百多年來，到現在世界上無一例因臭氧中毒死亡事故發生。
臭氧的滅菌效果在濕度為70-80%條件下效果理想，在濕度低于45%時效果較差，所以一般使用中，特別是制藥車間無菌室、病房等使用應注意在環境中適當增加濕度。
應用臭氧進行空氣消毒時應注意：臭氧的殺菌效果K為臭氧實際濃度C與作用時間T的乘積即K＝C×T，而臭氧實際濃度C為達到殺菌閥值濃度Cmin時，即使延長時間，在實際運行中，恐怕也是沒有殺菌效果的。臭氧用作空氣消毒應按不同應用空間、不同的殺菌消毒目的，而配置不同的臭氧產量和臭氧發生濃度的臭氧發生裝置，臭氧發生濃度是指以自然擴散方式的按固定體積內30分鐘的濃度計，單位為mg/M3，臭氧產量是由臭氧發生濃度與時間累積計算出來的，臭氧產量、臭氧發生濃度是基本的參數標準。所以以空氣消毒為目的的臭氧消毒產品應標注消毒濃度與消毒時間指標。還有兩個通用指標，即應用空間的臭氧安全指標和產品使用壽命指標等，也是需要向使用者注明的。如一般的除味、除臭等，濃度掌握一般不超過0.05ppm。如果用于室內滅菌消毒則一般掌握在0.1-1ppm；物體表面或病房區一般需要濃度都較高。
空氣消毒型臭氧發生器選型。由于臭氧只能就地生產，目前比較經濟也是技術成熟的產生臭氧的方式為電暈放電，而用于空氣消毒用臭氧發生器多是使用陶瓷片高頻放電的模式，它具有結構簡單、性能可靠、運行費用低及調節靈活等優點。
臭氧空氣消毒的安全性。臭氧安全性在廣泛的動物和人體試驗中，主要暴露途徑為吸入法，持續、長期的吸入試驗顯示臭氧不致癌（NTP，1995）；但是對動物和人體的呼吸系統有明顯的刺激作用，在暴露環境中，可影響呼吸功能。所以，我們建議，使用臭氧消毒空氣，應在無人環境下進行，在消毒完畢半小時后，人員方可進入。
