
特點
●大幅度提高了驅動速度(X軸:80mm/s,
Z2軸:20mm),近一步降低了總測量時間
●為了在一定時段內維持儀器的直線度精度
規格,三豐公司采用了具有的耐磨擦
性及穩定性的高硬度陶瓷導軌
●大量的外周設備選件支持CNC模式,從而
可以很容易實現CNC測量
●驅動裝置(X軸)和立柱(Z2軸)中集成了高精
度光柵尺(Z2軸為ABS型),從而提高了在
垂直方向持續自動測量小孔和不易定位工
件的重復精度
●X軸精度:±(0.8+0.01L)μm
●Z1軸精度:±(0.8+l0.5Hl/25)μm*,針
對高精度工件的測量所設計
●CV-4100系列的驅動裝置集成了Laser
Hologage檢測器,在Z軸(垂直方向)的窄
/寬測量范圍內,提供的精度和分辨
率