精度范圍:≤(3.0+L/200)um L爲被測長度(單位:mm)
操作方式:全閉環CNC控制
量測分辨率:0.0005mm
三軸控制系統:日本松下伺服傳動系統或同等級產品
成像系統:采用超清美國TEO成像技術或同等級產品
軟體:三軸自動可程控式多功能軟體,可實現多重復雜測量自動編程
放大倍數:超低變形 多段倍率遠心光學設計光學放大倍率0.7-4.5X影像放大倍率20-140X(可定制40-280X)
精密側頭(選配):
原裝英國雷尼紹MCP高精度三維測量頭,可針對內錐
深度.高度.平面度.傾斜度.直線度等等簡單三維測量
激光測頭(選配):
原裝日本基恩士激光測頭可針對可于透明件,玻璃鍍層
玻璃曲翹的快速測量 平面度,厚度.深度 高度 偏擺等等