20多年技術積累和發(fā)展的結晶,是一款高準確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機型。即使在透明的基底上也能對超薄膜進行確的測量。采用PEM相位調(diào)制技術，與機械旋轉部件技術相比,能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。

主要特點

* 50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術，測量光路中無運動部件

* 具備超薄膜所需的測量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率

* 具有毫秒級超快動態(tài)采集模式，可用于在線實時監(jiān)測

* 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應池、液體池、密封池等多種附件

* 配置靈活

規(guī)格參數(shù)

可選光譜范圍：

* UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm)

* UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )

* UVISEL VIS (210 nm -880 nm )

* UVISEL FUV(190 nm -880 nm )

* UVISEL VUV(142 nm -880 nm )

* 多種實用微光斑尺寸選項

* 探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器

* 自動樣品臺尺寸：多種樣品臺可選

* 自動量角器：變角范圍35° - 90°，全自動調(diào)整，最小步長0.01°