低溫等離子過氧化氫滅菌系統是基于上述等離子的固有特性，在低溫（60℃以下）和真空狀態下，通過高頻電場作用，使滅菌容器艙內形成均勻的等離子場，等離子體在形成過程中產生的大量紫外線，可直接破壞微生物的基因物質，紫外線固有的光解作用打破了微生物分子的化學鍵，最后生成揮發性的化合物。通過等離子體的蝕刻作用，等離子中活性物質與微生物體內的蛋氫質和核酸發生化學反應，能夠摧毀微生物和擾亂微生物的生存功能。然后注入過氧化氫為滅菌劑，在滅菌艙內霧化彌漫。過氧化氫在此作用中將會有離子化分解反應，并作用于微生物之細胞，破壞其生命，進一步對微生物實施殺滅。滅菌完成后分解成水分子及氧分子，無毒害物質殘留，不需通風和排水，安全而環保。

低溫等離子過氧化氫滅菌系統的應用，不但可以減輕醫護人員面對工作危害及環境污染的負擔，同時也可以為醫療機構節約大量的滅菌成本，它還能廣泛的應用于對濕熱敏感的精密醫療器材的滅菌。滅菌注入的過氧化氫采用膠囊形式封裝于專用塑料卡匣內。