XD 激光干涉儀，能夠 一次安裝同時(shí)測量 數(shù)控直線軸的線性定位誤差(包括定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙)、直線度（XX 方向和YY 方向）等三個(gè)參數(shù)，測量效率相比傳統(tǒng)激光干涉儀提高三倍以上。該配置還可以通過選配件來測量兩個(gè)直線軸的垂直度、小角度精度等。

特點(diǎn)和實(shí)現(xiàn)功能：

• 線性定位誤差測量：包括定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙

• 直線度測量：包括垂直于運(yùn)動軸方向的兩個(gè)方向（豎直、水平）的直線度

• 一次安裝可以同時(shí)測量以上多個(gè)參數(shù)，無需更換光學(xué)組件，效率提高數(shù)倍以上

• 直線度和角度測量中不怕斷光，可以替代準(zhǔn)直儀使用，對安裝進(jìn)行指導(dǎo)調(diào)整

• 安裝靈活方便，可以選擇多種安裝方式，即使在苛刻的擁擠環(huán)境都能便捷安裝

• 環(huán)境適應(yīng)性廣

1 、XD  激光干涉儀的設(shè)計(jì)理念

• 提高激光干涉儀的測量效率, 減少機(jī)床的停產(chǎn)時(shí)間 減少機(jī)床的停產(chǎn)時(shí)間 。

• 測量精度: 0.5 ppm ( 標(biāo)準(zhǔn)型) 。

• 兩點(diǎn)調(diào)光線, 設(shè)置操作簡單容易 。

• 常規(guī)測量無需三角架，結(jié)構(gòu)緊湊，便于攜帶 。

XD 激光干涉儀，一次設(shè)置能夠同時(shí)測量數(shù)控直線軸的多個(gè)誤差參數(shù)（單軸多 6 個(gè)誤差參數(shù)）。減少了機(jī)床的停產(chǎn)時(shí)間，提高了實(shí)際測量精度（測量該軸的各誤差參數(shù)時(shí), 無時(shí)間差）, 操作使用容易。傳統(tǒng)干涉儀需要數(shù)天時(shí)間才能完成的測試，API XD 激光干涉儀只需 2 到 3 個(gè)小時(shí)。XD-5/6D 激光干涉儀節(jié)省機(jī)床停產(chǎn)時(shí)間達(dá) 80%以上。多參數(shù)同步測量所揭示的機(jī)床真實(shí)誤差狀況是傳統(tǒng)干涉儀所無法做到的。

2、*的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

API 公司采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計(jì)（如下圖），將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機(jī)隔開，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤定位相連，從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準(zhǔn)確性。

3 、線性測量原理

利用氦氖激光作為長度基準(zhǔn)，對數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等）進(jìn)行精密測量的精密測量。

激光干涉儀通過接收到的激光的明暗條紋變化，再通過電子細(xì)分，從而知道距離的細(xì)微和準(zhǔn)確變化。

4 、直線度測量原理

PSD 是一種新型半導(dǎo)體光電位置敏感探測器件在激光干涉儀的反射鏡上集成一個(gè)高精度的 PSD 位置敏傳感器，進(jìn)行測量，不僅測出直線軸的定位精度，同時(shí)也可以將軸的兩個(gè)方向直線度同時(shí)測出，大大提高了測量效率，且穩(wěn)定性好、精度高,而且也適合長距離的同時(shí)也是二維直線度誤差的測量。

利用 API 激光干涉儀還可以對機(jī)床長導(dǎo)軌進(jìn)行直線度測量，使用非常方便。一次安

裝測量即可得到兩個(gè)方向的直線度誤差。

5、XD3LS  主要參數(shù)指標(biāo)

6、測量案例