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等離子刻蝕機

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  • 公司名稱西安順星電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
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  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/12/15 17:53:20
  • 訪問次數435
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西安順星電子科技有限公司SUNSATAR成立于2001年。 于2006年與光弘科技有限公司合作成立了亞太區智能制造系統”C-MES”研發中心。 于2008年與的電子裝備生產企業:松下,Rehm,美祿等公司達成合作,建立了西安順星電子科技有限公司:亞太區智能系統和裝備銷售部。幫助相關客戶建立完整的智能制造C-MES智能制造系統系統,提供給用戶從軟件服務到工藝支持和設備安裝等一系列的交鑰匙工程。 順星電子科技C-MES產品事業部成立于2008年,專注于制造企業智能化協同管理系統(Collaboration Manufacturing Execution System,C-MS)的研究與生產制造,公司本著: 科學嚴謹,開發國際智能制造協同管理系統; 專業高效,提供國際顧問優化服務及解決方案; 求實創新,努力成為智能制造系統; C-MES- 制造企業智能化協同管理系統(Collaboration Manufacturing Execution System),通過大量的市場客戶應用,在實現提高生產效率、提高產品品質、縮短生產周期、降低制造成本、全面防錯防呆,實現全面科學的可追溯管理,為中國本土的制造產業實施“智能制造”指明了方向。
等離子刻蝕機等離子刻蝕機,又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等
等離子刻蝕機 產品信息

等離子刻蝕機

    等離子刻蝕機,又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子刻蝕,是干法刻蝕中見的一種形式,其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

等離子刻蝕機的應用

等離子體處理可應用于所有的基材,甚至復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、等離子體清洗,等離子體鍍膜也毫無問題。等離子體處理時的熱負荷及機械負荷都很低,因此,低壓等離子體也能處理敏感性材料。等離子刻蝕機的典型應用包括:

等離子體清除浮渣

光阻材料剝離

表面處理

各向異性和各向同性失效分析應用

材料改性

包裝清洗

鈍化層蝕刻

聚亞酰胺蝕刻

增強粘接力

生物醫學應用

聚合反應

混合物清洗

預結合清洗

等離子刻蝕的影響因素

氣壓(Pressure)。  

溫度(Temperature)提高溫度會提高刻蝕率。  

–Micro-loading  

刻蝕后腐蝕(Post-etch corrosion)。  

殘留物(residual)。

關鍵詞:刻蝕機
15700106413
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