鋁制高真空L型閥 XLA/C/F/G
 | ?采用鋁制主體 均一的烤焙溫度 重量輕、外形緊湊 放出氣體少 重金屬污染少 ?可更換波紋管 |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封 方式 | 用途 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-2 | 氣控 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16～80 |
| XLAV-2（帶電磁閥） | 氣控 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16～80 |
| XLC-2 | 氣控 | 雙作用 | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16～80 |
| XLF-2 | 氣控 | 單作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速動作 高動作次數 | 16～80 |
| XLFV-2（帶電磁閥） | 氣控 | 單作用 （N.C.） | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16～80 |
| XLG-2 | 氣控 | 雙作用 | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16～80 |
鋁制高真空L型閥XLA/C/F/G
| 系列 | 下載 |
|---|---|
| XLA-2 | |
| XLAV-2（帶電磁閥） | |
| XLC-2 | |
| XLF-2 | |
| XLFV-2（帶電磁閥） | |
| XLG-2 | |
鋁材質高真空L型閥 XLA/C-100?160（-1）-X152
 | ?波紋管耐久性提升（法蘭尺寸100、160） ?壽命：200萬次 ?可實現裝置的省空間化 無排氣方向限制(閥體側←→波紋管側 兩方向均可) 安裝姿勢的自由度提升 ?輕量、緊湊 |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封方式 | 用途 | 法蘭尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-100?160-X152 | 氣控 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 除塵凈化 | 100、160 |
鋁材質高真空L型閥XLA/C-100?160（-1）-X152
| 系列 | 下載 |
|---|---|
| XLA-100?160-X152 | |
鋁制高真空L型閥 XL□
 | ?耐氟。 ?放出氣體量少。 ?重金屬污染少。 ※法蘭尺寸16?80的XLA/C/F/G已進行了產品變更。 請選擇XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。 |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 操作方式 | 閥形式 | 軸密封 方式 | 用途 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | 氣控 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 防塵 凈化 | 16～160 |
| XLAV（帶電磁閥） | 氣控 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16～160 |
| XLC | 氣控 | 雙作用 | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16～160 |
| XLCV（帶電磁閥） | 氣控 | 雙作用 | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16～80 |
| XLF | 氣控 | 單作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速動作 高動作次數 | 16～160 |
| XLFV（帶電磁閥） | 氣控 | 單作用 （N.C.） | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16～160 |
| XLG | 氣控 | 雙作用 | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16～160 |
| XLGV（帶電磁閥） | 氣控 | 雙作用 | O形圈 | 高速動作 高動作次數 | 16～80 |
| XLD | 氣控 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 O形圈密封 | 防止揚塵 防止泵過載 | 25～160 |
| XLDV（帶電磁閥） | 氣控 | 單作用 （N.C.） | 波紋管密封 O形圈密封 | 防止揚塵 防止泵過載 | 25～160 |
| XLH | 手動 | 手動 | 波紋管密封 | 除塵 凈化 | 16～50 |
| XLS | 電磁式 | 單作用 （N.C.） | (波紋管平衡) | 無需空氣 可搬運裝置用 | 16，25 |
鋁制高真空L型閥XL□
| 系列 | 下載 |
|---|---|
| XLA | |
| XLAV（帶電磁閥） | |
| XLC | |
| XLCV（帶電磁閥） | |
| XLF | |
| XLFV（帶電磁閥） | |
| XLG | |
| XLGV（帶電磁閥） | |
| XLD | |
| XLDV（帶電磁閥） | |
| XLH | |
| XLS | |
鋁制快速拆裝型 高真空L型閥 XLAQ?XLDQ
 | ?快速拆裝（無需工具）。 |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 操作方式 | 軸密封 方式 | 閥形式 | 材質 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLAQ | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：鋁 波紋管：SUS316L | 16～50 |
| XLDQ | 氣控 | 波紋管密封 O形圈密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：鋁 波紋管：SUS316L | 40，50 |
鋁制快速拆裝型 高真空L型閥XLAQ?XLDQ
| 系列 | 下載 |
|---|---|
| XLAQ | |
| XLDQ | |
不銹鋼制高真空L型／直線型閥 XM/XY
 | ?無氣體積留的精密鑄造結構。 ?鋁制高真空L型閥，安裝上具有與XL系列的互換性（XM系列）。 注）直線型無尺寸16。 |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 操作方式 | 軸密封 方式 | 閥形式 | 材質 | 法蘭 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XMA/XYA | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：SCS13（相當于SUS304） 波紋管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMC/XYC | 氣控· | 波紋管密封 | 雙作用 | 主體：SCS13（相當于SUS304） 波紋管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMD/XYD | 氣控 | 波紋管密封 O形圈密封 | 單作用 （N.C.） | 主體：SCS13（相當于SUS304） 波紋管：SUS316L | 25～80 |
| XMH/XYH | 手動 | 波紋管密封 | 手動 | 主體：SCS13（相當于SUS304） 波紋管：SUS316L | 16～50 注） |
不銹鋼制高真空L型／直線型閥XM/XY
| 系列 | 下載 |
|---|---|
| XMA/XYA | |
| XMC/XYC | |
| XMD/XYD | |
| XMH/XYH | |
常閉型高真空電磁閥 XSA
 | ?使用壓力：1×10-6Pa(abs) ?泄漏量：內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。 ?有2種接頭和內螺紋可選。 ?消耗功率：最多削減25％。 ?質量：最多減小18％ 0.5kg→0.41kg。 |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | 面密封接頭 卡套式接頭 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | Rc, NPT內螺紋 | 1/8, 1/4, 3/8 |
常閉型高真空電磁閥XSA
| 系列 | 下載 |
|---|---|
| XSA | |
| XSA | |
平穩排氣閥 XVD
 | ?閥與針閥一體化，配管空間為原來的1/4。 ?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產生。 ?初始供氣、主給気可同時進行流量調節。 |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常閉 （加壓開?彈簧密封） | 氮氣、空氣、 惰性氣體等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
平穩排氣閥XVD
| 系列 | 下載 |
|---|---|
| XVD | |
