氣體流量控制器
l 在壓力改變的情況下提供穩定的流量。
l 入口流量控制器—在入口流路壓力恒定的情況下,提供穩定的流量。
l 出口流量控制器—在出口流路壓力恒定的情況下,提供穩定的流量。
l 所有的流量控制器,入口壓力必須比出口壓力高10 psi 。
202型氣體流量控制器 – 可調量程入口流量控制器
l
提供用戶可變流量調整,允許用于各種流量范圍從最小5.0 mL/min到流量1.6 l/min (N2 為40 psi)。

l 與1/8" NPT陰螺紋的接口一起提供,包括接1/16"外徑管路適配器,也可選擇其它接頭。
l 可以安裝旋鈕式流量數字顯示(3組或4組),直觀顯示流量設定,大于1%的重現性。
l 入口壓力:200 psi。
流量 / 分鐘 | 鋁質 Viton 隔膜 貨號 | 鋁質 不銹鋼隔膜 貨號 | 不銹鋼材質 Viton 隔膜 貨號 | 不銹鋼材質 不銹鋼隔膜 貨號 |
帶標準控制旋鈕 | FC22AV1K | FC22AS1K | FC22SV1K | FC22SS1K |
帶三列數字顯示盤 | FC22AV1S3 | FC22AS1S3 | FC22SV1S3 | FC22SS1S3 |
帶四列數字顯示盤 | FC22AV1S4 | FC22AS1S4 | FC22SV1S4 | FC22SS1S4 |
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