- 自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5的突出特點：
- 一款的3D光學(xué)測量儀
InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量系統(tǒng)和表面粗糙度測量系統(tǒng)所有的功能。
和高效
LED環(huán)形燈的設(shè)計，使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨，高可重復(fù)性和可溯源
即使對于復(fù)雜樣品表面，仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合全自動
測量簡單且自動化程度高，如自動更換物鏡等
自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5
自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5是奧地利Bruker Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標測量和表面形貌測量于一體的光學(xué)測量系統(tǒng)。
自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5的主要技術(shù)參數(shù)：
位移范圍（X軸、Y軸、Z軸）：100mm×100mm×100mm
樣品表面結(jié)構(gòu)：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取決于表面結(jié)構(gòu)
樣品高度：100mm ～ 345mm
樣品重量：30kg
水平分辨率：0.44μm
垂直分辨率：10nm
掃描高度：22.5mm
擴展視野范圍：10000mm2
單一方向掃描范圍：100mm
測量速度:170萬個測量點/秒
最小測量高度：0.01μm
測量高度：22.5mm
測量范圍：10000mm2
測量形貌長度：100mm
最小可重復(fù)性：0.001μm
最小測量粗糙度（Ra）：0.03μm
最小測量粗糙度（Sa）：0.015μm
最小測量半徑：1μm
最小測量垂直角度：20°
測量傾斜角度：87°
樣品表面結(jié)構(gòu)：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取決于表面結(jié)構(gòu)
樣品高度：100mm ～ 345mm
樣品重量：30kg
水平分辨率：0.44μm
垂直分辨率：10nm
掃描高度：22.5mm
擴展視野范圍：10000mm2
單一方向掃描范圍：100mm
測量速度:170萬個測量點/秒
最小測量高度：0.01μm
測量高度：22.5mm
測量范圍：10000mm2
測量形貌長度：100mm
最小可重復(fù)性：0.001μm
最小測量粗糙度（Ra）：0.03μm
最小測量粗糙度（Sa）：0.015μm
最小測量半徑：1μm
最小測量垂直角度：20°
測量傾斜角度：87°
自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5比InfiniteFocus G4擁有更*的性能：
測量速度增加20倍
自動設(shè)置
適用更多材料及更復(fù)雜表面的測量
更穩(wěn)定，更精密的測量
測量精度更高，尤其對于大范圍面積樣品的測量
自動設(shè)置
適用更多材料及更復(fù)雜表面的測量
更穩(wěn)定，更精密的測量
測量精度更高，尤其對于大范圍面積樣品的測量
