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精密烤膠機，高精度烘膠臺

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公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
品牌
型號
所在地上海
廠商性質生產廠家
更新時間2022/7/22 10:49:19
訪問次數1710

產品標簽:

熱板恒溫熱板烤膠機烘膠臺加熱臺

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公司介紹主營產品

上海雋思實驗儀器有限公司（以下簡稱“雋思儀器”）是一家專業從事儀器設備研發、生產、銷售及服務的企業。主要生產半導體工藝設備、環境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業，具有很強的自主開發、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環保、農業，建筑，節能等行業；多年來，公司以“真摯的服務、優質的品質”為宗旨，為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評，更為我們業務的快速發展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業務有HMDS預處理系統，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級潔凈烘箱，氮氣烘箱，高溫無氧烘箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機，精密恒溫加熱臺，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗箱，高低溫試驗箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測儀，黑蒜發酵設備，導體直流電阻測試儀，電線電纜檢測儀器，真空烘箱，黑蒜試驗機，橡塑檢測試驗機等。
不斷追求技術進步、提升專業服務能力，做一個專業的儀器設備供應商是我們的發展目標。企業內部實施了CRM、ERP項目管理，在產品開發、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發展。同時建立了標準化的服務流程，形成了覆蓋全國的快速服務網絡，以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會，以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創燦爛的未來！

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產品簡介在線詢價

精密烤膠機，高精度烘膠臺是我司針對研究的需要設計了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.

精密烤膠機，高精度烘膠臺產品信息

精密烤膠機，高精度烘膠臺研制背景：

光刻工藝及其相關技術是微電子機械系統(MEMS)加工工藝的重要組成部分.均膠和烘干是光刻工藝中*的一道工序,為增加膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式曝光中膠層與掩模版接觸時的耐磨性能及穩定膠層的感光靈敏度,通常采用烘箱或熱板等加熱設備對光刻膠進行干燥.由于熱板易于達到在膠的厚度方向快速均勻烘干等要求,目前越來越多地采用電熱板加熱的方式. 熱板的表面溫度均勻性,溫度控制精度,溫度上升速度等是熱板的主要性能指標.我司針對研究的需要設計了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.

精密烤膠機，高精度烘膠臺應用行業：

用于晶圓的單面烘烤，可用于預烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝。適應于半導體硅片，掩膜版（光罩），柔性電路，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。

精密烤膠機的性能：

加熱面積尺寸：160mm*160mm、220mm*220mm，多尺寸，多工位定制

控溫范圍：室溫--200、300℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動度：≤±0.5℃

溫度均勻性：≤±0.5℃

電源輸入：AC220V 10A

加熱功率：1500W

熱板表面:由硬質陽極氧化鋁制成

可定制功能：