產(chǎn)品介紹:
藍(lán)寶石及碳化硅晶片平坦度及表面形態(tài)測(cè)試儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界的表面形態(tài)測(cè)量。通過(guò)非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù)記錄下整個(gè)表面的數(shù)據(jù)。它能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
■ 無(wú)接觸和無(wú)損傷測(cè)量
■ 適用多種類型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■ 適用多種類型晶片：硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
■ 適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面
■ 測(cè)量多種不同指標(biāo)：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
■ 完整的分析系統(tǒng)：
三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測(cè)量
■ 超過(guò)15年的工業(yè)應(yīng)用，幾百臺(tái)的裝機(jī)量
技術(shù)參數(shù)：
■ 精確度：50nm （2.0μ″）
■ 重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■ 分辨率：5nm （0.2μ″）
■ 可測(cè)量工件尺寸：25mm-200mm
■ 動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍：>100um
■ 測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230,000 / measurement
■ 測(cè)量時(shí)間：5秒
■ 電源：～220V 50Hz
典型客戶:
國(guó)外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，F(xiàn)reiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……
國(guó)內(nèi)：賽維，重慶四聯(lián)，中電46所，山東大學(xué)，大連理工大學(xué)，半導(dǎo)體所，物理所，中科晶電，中科鎵英，云南藍(lán)晶，青島嘉星晶電，天科合達(dá)，大慶佳昌……
北京合能陽(yáng)光新能源技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“合能陽(yáng)光”）總部位于北京通州工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)，公司主導(dǎo)產(chǎn)品涉及半導(dǎo)體及光伏行業(yè)的檢測(cè)儀器、工藝和耗材領(lǐng)域，是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)及對(duì)外投資于一體的綜合性高科技公司。
公司所服務(wù)的客戶來(lái)自于國(guó)內(nèi)企業(yè)，如賽維LDK、保利協(xié)鑫、比亞迪、中電集團(tuán)、億晶光電、旭陽(yáng)雷迪、錦州陽(yáng)光、Ferro申和熱磁、國(guó)泰半導(dǎo)體、晶鑫科技、湖北晶星、大全新能源、新疆新能源、晶龍集團(tuán)、Pro-Q、光為、國(guó)電集團(tuán)、京運(yùn)通、七星華創(chuàng)、新天源、超日、*、中國(guó)表面物理與化學(xué)研究、成都光電、包頭山晟……等幾百家半導(dǎo)體和太陽(yáng)能單位。
公司現(xiàn)有員工34人，大專本科以上學(xué)歷25人，研究生６人，博士１人，建筑面積3000m２。
近年來(lái)，公司的海外市場(chǎng)發(fā)展勢(shì)頭良好，產(chǎn)品出口到美國(guó)、歐洲、韓國(guó)、新加坡等國(guó)家地區(qū)，目前公司在和海外同行建立產(chǎn)品加工合作關(guān)系的同時(shí)還建立自己的代理商和銷售中心。
檢測(cè)儀器和產(chǎn)業(yè)耗材
藍(lán)寶石及碳化硅晶片平坦度及表面形態(tài)測(cè)試儀：FM-200 產(chǎn)品信息
