- 設備專門用于IT 制造業結構件真空踱膜加工,各系統單元和總體構成滿足光學和功能薄膜生產工藝要求,適用AR膜、NCVM顏色膜、金屬裝飾膜、金屬功能膜、AF功能膜等。
- 該渡膜機鍍膜機采用立式箱體,前置室門上裝有觀察窗,箱內安裝轉架驅動,爐內安裝烘烤系統,后置排氣法蘭連接高真空泵;
1) 前級真空:由旋片泵、 羅茨泵構成;
2) 高真空:擴散泵、 超低溫冷凝水捕集泵(Polycold) , 真空室和擴散泵冷阱;
3) 抽氣系統:由各級泵、 管道和閥門,在系統的控制下完成啟動、 粗抽精抽、 待命和維持流程。
項目 | 規格 |
成膜系統 | 1)中頻電源旋轉陰極李生圓柱靶*1, 另外預留對靶位(電源可轉換分別驅動兩套靶) 2)8舟阻抗式蒸發源*2; 3)離子轟擊棒*4。 |
工作模式 | 離子清洗、 加熱蒸發,石英晶體薄膜厚度控制器監控膜厚并自動判停。 |
工藝流程 | 裝夾-抽真空-離子清洗-電子槍蒸渡-阻抗式蒸發AF- 進氣、 出爐。 |
功率 | 總功率148KW, 平均功率48KW |
設備外尺寸及總重 | 1)主框架及控制柜,不開門 W4500× D6000× H3250 , 開門 W4500×D7300× H3250; 2)粗抽泵組及粗抽管占地:2000×1500; 3)主框架外部必要的操作和維護維護空間:水平方向外延伸 800mm; 垂直向上延伸 400mm 4)總重:9 噸 |