該復合型有機廢氣處理設備分為等離子分解和紫外線光解兩個區，將等離子裝置布置在光解設備的前段，離子裝置產生的臭氧與有機廢氣混合后，流經紫外線燈管，紫外線燈管能進一步地觸發臭氧的生成，同時再經過燈管254nm紫外線的催化作用，臭氧與有機物的反應效能大幅提升，從而取得很好的處理效果。
等離子分解區：采用了*的吸附-分解-碳化工藝技術設計，無需再生處理原料，無需專人負責，不產生二次污染。采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生高強度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對經過UV光解區進入等離子分解區的氣體內殘留的有害分子進行氧化還原反應，將廢氣中的污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。
UV紫外線光解區：利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，改變惡臭氣體，如氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、四硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。再分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧。因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。，臭氧對有機物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它感激性異味有的清除效果。有機惡嗅氣體通過本區后，凈化運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧氧化反應。
①、高效除異味：能高效去除揮發性有機物（VOC）、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種異味，脫味效果大大超過國家1993年頒布的異味污染物排放標準（GB14554-93）和1996年頒布的《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)。
②、無需添加任何物質；只需要設置相應的排風管道和排風動力，工業廢氣通過本設備進行脫味分解凈化，無需添加任何物質參與化學反應。
③、為成套工業廢氣處理裝置，前面配有專用塔，能有效去除廢氣中的粉塵和水分，操作簡單；
④、自動化程度高，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，對于部分化工生產的不連續性，可以在生產時開啟，不生產的間隙停止運行，大量的節約能源；
⑤、運行成本較低，比常用的蓄熱式燃燒爐RTO節約運行費用5-8倍，每立方米氣量運行費用僅為0.3～0.9分錢，部分高濃度廢氣可以通過空氣稀釋后用技術處理；
⑥、應用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-98%，處理后的氣體臭氣濃度達到國家標準；
⑦、設備無需任何機械動作，無噪音，無需專人管理和日常維護，只需作定期檢查，設備占地面積小，自重輕；
⑧、防火、防腐蝕性能高，性能穩定，使用壽命長。
