臭氧發生器產生的氣體是一種很強但又不穩定的氣體，在水溶液中，保持著很強的氧化性，作為殺生劑，作用機理與氧化性殺生劑有許多相同之處，該氣體與蛋白結合，破壞細胞呼吸所*的還原酶的活性，可以從不同的部位注入冷卻水系統，簡單的冷卻水系統中，只需一處加入就足夠了，對于復雜的有多個支路的體系，則建議在不同的部位加入，使其在水中分布比較均勻。
臭氧發生器的氣體氧化工業廢水可大幅度降低廢水的色度和COD，提高B、C比值即提高廢水的可生化性，可廣泛應用于印染、化工、電鍍、制漿造紙、制藥、洗毛、農藥、酒精等各類工業廢水的處理及處理水回用水工程。
印染廢水有色度主要是含有大量的發色團狀分子、長鏈分子、該氣體是一種強氧化劑，氧化能力僅次于氟，氧化還原電位*，其氧化性具有選擇性，會優選于水中的長鏈分子、發色基團發生反應，開環破鏈，將其氧化為無色的小分子。
廢液中的色素多為有機物，可以快速分解這些有機物，與廢水的有機物反應極為復雜，它主要是通過兩種途徑：即直接氧化反應和分解產生羥基自由基，氧化過程經廢液中某些溶解五誘發，而產生一系列的自由基，新生態的自由基與廢液中的有機物上的生色基團和雙健快速發生反應，因及其強大的氧化能力破壞廢水中發色基團，從而起到脫色 的作用。
該氣體一般用在廢水中的深度處理階段，在生化之后或者排放之前投加。
如果按去除COD量計算，理論上其與COD比值為3：1，考慮利用率的問題，一般選型會偏大。其實際投加濃度主要還是取決于污水中的物質組成和要求達到的效果，一般由小試正交實驗數據總結決定。
