公司介紹：
NTT-AT有著多年的X射線、極紫外光學配件的研發與銷售經驗。在范圍內，通過與眾多來自同步輻射科學，阿秒科學，高強度物理學等領域的科學研究者開展緊密合作，積累了大量*的設計與制造技術，其產品在業內享有很高的評價。NTT-AT提供的菲涅爾波帶片有著高分辨率，高聚光效率等特點，適合被各種輻射光設施使用。另外，分辨率測試卡被當作業界的標準。不只是學術研究，在X射線的檢查裝置開發現場也被廣泛使用。XUV鏡片，XUV濾波片不僅對阿秒科學有著幫助，對下一代的光刻研究也有這重要作用。NTT-AT將在XUV,EUV, X線領域給予客戶在研發上的幫助。
產品介紹：
· 反射型。
· 可提供圖案：線寬和縫寬80 nm以下。其他圖案還在研發中。
· 線上可以加工“缺口”，線之間可以加工“橋接”用于標記。
· 由于設計靈活，所以性能更高，成本也更低。
· 正在開發50 nm及以下的線縫和縫寬圖案。在有限條件下，可以提供圖案分辨率樣本。
