低溫等離子廢氣處理設備，即使用常規的催化、氧化方法亦需要高溫,燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質燃燒，大多數生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。但當處理含氯和含硫的有機化合物時，燃燒生成產物中HCl或SO2，需要對燃燒后氣體進一步處理。
低溫等離子廢氣處理設備
在車間機器產生廢氣的具體部位加上密閉系統，然后安裝相對應的管道，利用風機作用將廢氣抽出；另外，一方面在車間四周的地面部位安裝一定量的鼓風機，將車間內散布的廢氣由下而上鼓氣，另一方面在車間頂部安裝抽風機，使抽氣量大于鼓風量，從而車間內產生一定的低負壓，保證了車間內廢氣不會像外擴散。抽出的廢氣統一由管道外送進行處理。
是先將集氣系統收集的廢氣輸送到堿式吸收塔中，將廢氣由下而上輸入，堿液通過噴淋的方式由上而下噴淋廢氣，經過吸收塔處理后的氣體在經過一層水幕除塵后輸入燃燒塔中。此過程去除了廢氣中含有的部分酸性氣體和粉塵。廢氣仍然由下而上進入燃燒塔，在燃燒塔中燃燒后，除去了廢氣中含有的有機物，后再經過一層水幕除塵過程，再去除氣體中因燃燒產生的粉塵，燃燒后的二氧化碳和水就排入大氣中即可。
特點：① 能解決大氣污染，改善作業環境空氣質量。② 運行程序化、智能化，可連續運行或間斷式運行。③ 不產生臭氧，對呼吸系統無刺激；對管道及設備無腐蝕性，并對儀器儀表有保護作用。④ 設備可依附于通風系統上，不需要占用很大的空間。⑤ 操作維護簡單，零配件更換方便，無需專人值守。⑥ 主要設備和部件*，設備壽命長（離子管使用壽命2萬小時以上，主體設備使用年限15年以上）。
