UV等離子廢氣處理經過UV紫外光束區時，被紫外光波高能高效率地照射，瞬間產生光解反應，打開廢氣和臭味污染物分子的化學鍵，破壞其分子結構和核酸；利用高能紫外光波分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，使呈游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物
廢氣和惡臭氣體進入集成設備后，經過UV紫外光束區時，被紫外光波高能高效率地照射，瞬間產生光解反應，打開廢氣和臭味污染物分子的化學鍵，破壞其分子結構和核酸；利用高能紫外光波分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，使呈游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物。如CO2、H2O 等。 UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。
UV等離子廢氣處理采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒除臭廢氣凈化器兩種設備的優點組合而成，利用等離子分解技術和UV紫外光解技術結合，對廢氣和臭氣進行高效協同凈化處理：有機廢氣和惡臭氣體進入集成設備后，經過UV紫外光束區時，被紫外光波高能高效率地照射，瞬間產生光解反應；經過等離子體電場時，在納秒級時間范圍內，產生裂變分解反應；如此協同高效地產生一系光解和分解反應，經過多級凈化后從而達標排放。
