RTO蓄熱式燃燒設備(也叫作RTO蓄熱式焚燒爐)在很早以前就已經用于在化工、冶金等行業了，一開始是為了能充分利用生產過程中排放煙氣的熱能，并利用其熱量對空氣進行預熱。在此基礎上，RTO 蓄熱式燃燒設備逐漸發展到處理有機廢氣領域。
RTO蓄熱式燃燒設備用于處理有機廢氣，大致就是在20世紀70年代初開始的，是由美國公司(Hamon Research Cottrell)第 一次將RTO引入市場。當時用的是陶瓷材料來做的蓄熱體，熱效率也就是在80%-85%之間。
1978年美國加利福尼亞金屬制品廠的漆包線生產線也是用RTO來處理含溶劑的排放廢氣。之后隨著世界各國對VOCs排放的嚴格要求和控制，需要對有機廢氣進行處理的行業也越來越多，必須配備有機廢氣處理設備的企業也逐漸增多。到20世紀90年代中期，特別是歐美發達國家，RTO已經非常普遍的應用在高VOCs有機廢氣處理系統中。
隨著技術更迭，典型的RTO蓄熱式燃燒設備已經從兩室、三室、無室發展到七室和多室裝置，并且已經開發了許多不同類型的RTO設備，以滿足各種需求，例如：旋轉式RTO、單床式RTO。RTO裝置規模已經從處理小氣量到*氣量的系列。
在2000年，當時稱作歐洲 大的一套RTO裝置由LTG 為英國一家墻紙生產廠設計的，用于處理印刷廠排出的含有機溶劑和增塑劑的廢氣，處理風量是300000Nm³/h，兩套三室式，當時的單套處理能力已經達到了150000Nm³/h。
2011年的RTO蓄熱式催化燃燒設備處理量一般為5000~80000Nm³/h，一套RTO裝置的 大處理能力可以達到400000-600000Nm³/h。
從RTO蓄熱式燃燒技術的進一步發展看，首先是力求減排(減少CO2、NO的排放)，這就要求改善燃燒器的設計和燃燒過程特別是對燃燒溫度的控制，以及加熱模式不再局限于油或天然氣，可以采用電來加熱，從而避免了燃料燃燒引起的二次污染。
雖然RTO蓄熱式燃燒設備在工業中的應用已經有40多年的歷史，已經積累了眾多經驗，但是也逐漸暴露出很多問題，有些問題還是有待改進。詳見：RTO蓄熱式催化燃燒設備常見問題。
在RTO的設計方面，許多環保工程公司均已經開發相應的設計計算軟件，以及對RTO的操作行為、流體力學和傳熱進行數值模擬和優化。目前RTO裝置大多數采用模塊化組合式、集裝箱式、預制件式的標準、系列化設計，以適應不同的氣體處理量要求，并且可以在很短時間內在現場安裝完畢。
除了RTO蓄熱式燃燒設備，其實有機廢氣處理方法有很多，并且各有所長，把其中兩種方法合理的組合在一起，就能得到很好的處理效果。所以我們在選擇有機廢氣處理設備的時候，不要一味的盲目選擇RTO，盡管RTO已經是普遍使用的設備之一。
